备案号:32194-2012
备案日期:2011-12-20
备案公告: 2012年第1号(总第145号)
本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法(G D M S )所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。 本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、N a、M g、A 1、P、K、T h、U等元素的测定
中国科学院福建物质结构研究所
黄丰,吕佩文,陈伦泰,王永好,林璋,黄瑾